Optical emission characteristics of atmospheric-pressure nonequilibrium microwave discharge and high-frequency DC pulse discharge plasma jets
บทความในวารสาร
ผู้เขียน/บรรณาธิการ
กลุ่มสาขาการวิจัยเชิงกลยุทธ์
ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง
รายละเอียดสำหรับงานพิมพ์
รายชื่อผู้แต่ง: Yuji T., Fujii S., Mungkung N., Akatsuka H.
ผู้เผยแพร่: Institute of Electrical and Electronics Engineers
ปีที่เผยแพร่ (ค.ศ.): 2009
วารสาร: IEEE Transactions on Plasma Science (0093-3813)
Volume number: 37
Issue number: 6 PART 1
หน้าแรก: 839
หน้าสุดท้าย: 845
จำนวนหน้า: 7
นอก: 0093-3813
eISSN: 1939-9375
ภาษา: English-Great Britain (EN-GB)
ดูในเว็บของวิทยาศาสตร์ | ดูบนเว็บไซต์ของสำนักพิมพ์ | บทความในเว็บของวิทยาศาสตร์
บทคัดย่อ
With an aim to understand the mechanism of surface processing by atmospheric-pressure nonequilibrium discharge plasma jets, we measured the vibrational and rotational temperatures in the plasmas by means of optical emission spectroscopy (OES) measurement method. This paper focuses on the OES measurement method using a torch-shaped atmospheric-pressure nonequilibrium discharge plasma jet power supply consisting of a microwave (2.45-GHz) generator and a high-frequency (5.0-10-kHz) dc pulse power supply, using a gas mixture of Ar (8.0 L/ min) and N2 (0.1-0.5 L/min) as the discharge plasma gas, and changing the flow rate of N2 gas at the input power of 100-150 W. Upon comparing vibrational and rotational temperatures (0.18-0.27 eV) determined from the OES measurement method using two types of atmospheric-pressure nonequilibrium discharge plasma jets, results indicate that the microwave discharge plasma jet has considerably low vibrational and rotational temperatures. ฉ 2009 IEEE.
คำสำคัญ
Ar + N2 mixture gas, High-frequency dc pulse, Vibrational and rotational temperatures
ติดต่อสอบถามเพิ่มเติมได้ที่