Formation of nanocrystals and amorphous Al2O3 film grown by reactive magnetron sputtering
บทความในวารสาร
ผู้เขียน/บรรณาธิการ
กลุ่มสาขาการวิจัยเชิงกลยุทธ์
ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง
รายละเอียดสำหรับงานพิมพ์
รายชื่อผู้แต่ง: Udomkana N., Limsuwan P.
ผู้เผยแพร่: World Scientific Publishing
ปีที่เผยแพร่ (ค.ศ.): 2008
วารสาร: International Journal of Modern Physics B: Condensed Matter Physics; Statistical Physics; Atomic, Molecular and Optical Physics (0217-9792)
Volume number: 22
Issue number: 24
หน้าแรก: 4217
หน้าสุดท้าย: 4224
จำนวนหน้า: 8
นอก: 0217-9792
eISSN: 1793-6578
ภาษา: English-Great Britain (EN-GB)
ดูในเว็บของวิทยาศาสตร์ | ดูบนเว็บไซต์ของสำนักพิมพ์ | บทความในเว็บของวิทยาศาสตร์
บทคัดย่อ
Al2O3 films were deposited by reactive magnetron sputtering. As measured with Raman spectroscopy, the atomic force microscopy (AFM), nanohardness and spectrophotometer, respectively. Raman microscopy was then employed to follow their characteristics of optical and acoustic phonon modes. At the optimal sputtering time of 30 minutes, defect-induced first and second order Raman spectra were observed in the 100-900 cm-1 band, which was related to coating composition. However, at the thickness at 250, 300, 450 and 500 nm crystals of the order of nano size of α- Al 2O3 phase were achieved, which could be clearly identified by the presence of Raman peaks at 388, 417 cm-1 and 521 cm -1 assigned to Si substrate. The average nano grain size is measured by atomic force microscopy (AFM). It was found that the hardness was strongly dependent on the roughness of the films, the maximum of which was achieved at 20.01 GPa. The optical band gap of Al2O3 films was found to be in the range of 5.55 eV. All these results were analyzed and presented as a function of the deposition parameters and composition, and crystalline phases excited in the films. © 2008 World Scientific Publishing Company.
คำสำคัญ
Al2O3films, Nanohardness, Raman spectrum
ติดต่อสอบถามเพิ่มเติมได้ที่