Parameter Finding in Silicon Nitride Thin Film Deposition by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Process

Journal article

Authors/Editors

Strategic Research Themes

No matching items found.

Publication Details

Author list: รัตนพันธุ์ นพเก้า;ธงชัย ธงวิจิตรมณี;เจริญชัย โขมพัตราภรณ์;อัษฎา จิรประยุกต์เลิศ;วิสุทธิ์ ฐิติรุ่งเรือง

Publication year: 2010

Journal: วารสารวิชาการพระจอมเกล้าพระนครเหนือ (0857-684x)

Volume number: 20

Issue number: 2

Start page: 332

End page: 342

ISSN: 0857-684X

Abstract

No matching items found.

Keywords

No matching items found.