Raman characterization and mechanical properties of the silicon nitride/diamond-like carbon composites film prepared by co-deposition of RF magnetron and filter cathodic arc
Conference proceedings article
ผู้เขียน/บรรณาธิการ
กลุ่มสาขาการวิจัยเชิงกลยุทธ์
ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง
รายละเอียดสำหรับงานพิมพ์
รายชื่อผู้แต่ง: Bunnak P., Limsuwan P.
ผู้เผยแพร่: Elsevier
ปีที่เผยแพร่ (ค.ศ.): 2012
Volume number: 32
หน้าแรก: 909
หน้าสุดท้าย: 915
จำนวนหน้า: 7
นอก: 1877-7058
ภาษา: English-Great Britain (EN-GB)
ดูในเว็บของวิทยาศาสตร์ | ดูบนเว็บไซต์ของสำนักพิมพ์ | บทความในเว็บของวิทยาศาสตร์
บทคัดย่อ
The silicon nitride/diamond-like carbon composites were fabricated using co-deposition sources. The RF magnetron was used to deposit silicon nitride simultaneously with cathodic arc deposition of carbon. The condition of RF magnetron sputtering for silicon nitride was fixed at 0.6mTorr, RF power 200 watts and 100 watts to maintain deposition rate of silicon nitride. The arc current was conditionally manipulated in this study to vary carbon deposition rate, resulting a change in composite ratio between two materials. Raman characterization and mechanical properties such as film stress and hardness were discussed as a function of deposition rate ratio. It was found that the variation of film stress follows carbon deposition rate. The Raman spectra show that the G-peak position shift to the lower wavenumber while decreasing arc current and deposition rate of carbon. ฉ 2010 Published by Elsevier Ltd.
คำสำคัญ
Composite film, Diamond like carbon, Raman spectroscopy, Silicon nitride
ติดต่อสอบถามเพิ่มเติมได้ที่