Real-time Thickness Measurement with a Modified Sagnac Interferometer Using Phase Shift Technique

Conference proceedings article

ผู้เขียน/บรรณาธิการ

กลุ่มสาขาการวิจัยเชิงกลยุทธ์

จำลอง (วิศวกรรมและวิทยาศาสตร์เชิงคำนวณ)

รายละเอียดสำหรับงานพิมพ์

รายชื่อผู้แต่ง: Abdullahi Usman, Apichai Bhatranand, Yuttapong Jiraraksopakun, Rapeepan Kaewon and Chatchai Pawong

ปีที่เผยแพร่ (ค.ศ.): 2021

บทคัดย่อ

The modified Sagnac interferometer with a phase-shift approach is given here for measuring Ta2O5 thin-film thickness. The input light is split into reference and sample beams. A real-time signal measurement is performed to get the output intensities of both beams with four different polarizer settings. These intensities can then be effectively converted into film thickness.

คำสำคัญ

ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง