Trimming Lithography: An Alternative Technology for Sub-Resolution and Sub-Wavelength Patterning

บทความในวารสาร

ผู้เขียน/บรรณาธิการ

กลุ่มสาขาการวิจัยเชิงกลยุทธ์

ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง

รายละเอียดสำหรับงานพิมพ์

รายชื่อผู้แต่ง: Atthi, N.;Sriklad, A.;Jeamsaksiri, W.;Hruanun, C.;Poyai, A.;Silapunt, R.

ปีที่เผยแพร่ (ค.ศ.): 2012

วารสาร: Transactions on Electrical Engineering, Electronics, and Communications (1685-9545)

Volume number: 10

Issue number: 2

หน้าแรก: 198

หน้าสุดท้าย: 207

นอก: 1685-9545

บทคัดย่อ

ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง

คำสำคัญ

ไม่พบข้อมูลที่เกี่ยวข้อง